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使用管式爐時如何抽真空?

發布日期:2022-09-16   瀏覽量:29
   管式爐是根據溫度采用電阻絲,硅碳棒、硅鉬棒等材料為加熱元件,最高溫度可以達到1800度。具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
  管式爐在進行使用時,是在真空狀態下進行工作的,所以抽真空是操作使用爐子時一項非常重要的步驟,如果做不好那么可能就會影響其使用效果,那么如何正確抽真空呢?
  抽真空:確保管式爐進氣口關閉,打開出氣口,連接真空泵,將爐管壓強抽至-0.09 Mpa,隨后關閉出氣口和真空泵。接著按氣瓶主閥、分壓閥(第一個示數0.5-1.0,第二個示數0.02)、管路開關、氣體流量計的順序打開氣路,打開進氣口閥門。
  待管式爐爐管內壓強升至正壓(不超過0.02 Mpa)時,打開出氣口閥門,通過進氣閥門及流量計調節氣體流速,一般以安全瓶中連續鼓出氣泡為準。穩定后,通氮氣5-20 min,把管內空氣全部排空。
  抽真空是管式爐使用中非常重要的一步,也是關系到其使用效果的重要條件,所以用戶在使用時一定要掌握好正確的方法。
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